| Autor: |
L.M.Kukreja, P.Misra, A.K.Das, J.Sartor, H.Kalt |
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| Quelle: |
J.Vac.Sci.Technol. A29, 03A120-1 (2011) |
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letzte Änderung:
12.07.2011
KIT – Universität des Landes Baden-Württemberg und nationales Forschungszentrum in der Helmholtz-Gemeinschaft